Principali caratteristiche tecniche e indicatori del prodotto:

Utilizzando la tecnologia brevettata -109 lenti a volo disallineate con blocchi di costruzione - per eliminare la diffrazione e migliorare le linee ripide,
Migliorare la risoluzione pratica della fotolitografia.
● Adottando la sorgente luminosa di esposizione ultravioletta i-line (365nm) e il sistema ottico avanzato per ottenere un'elevata illuminazione uniforme, luce
La sorgente ha un piccolo angolo focale e un buon parallelismo.
Dotato di microscopio binocolo a doppio campo e sistema di allineamento delle immagini CCD, con display LCD widescreen da 22 pollici
Il dispositivo può osservare simultaneamente il processo di allineamento in tempo reale e memorizzare e registrare i risultati dell'esposizione.
Adottando un meccanismo di livellamento galleggiante dell'aria a tre punti per il livellamento automatico del campione, ha alta capacità di livellamento per i campioni grandi e piccoli
Accuratezza.
Le impostazioni dei parametri di esposizione sono controllate dal computer, con un funzionamento intelligente del processo e un'interfaccia menu facile da usare.
I componenti chiave sono prodotti importati di marca internazionale con alta affidabilità complessiva.
● Supporta quattro tipi di esposizione: esposizione a contatto sotto vuoto, esposizione a contatto duro, esposizione a contatto sotto pressione e esposizione di prossimità
Funzione.
area di esposizione: 150mm × 150mm; Precisione dell'allineamento: ≤ ± 0,8 μm.
Dimensione della maschera: 3 pollici, 4 pollici, 5 pollici, 7 pollici.
Risoluzione litografica: 0,8-1 μ m (fotoresist positivo con uno spessore di 2 μ m).
Modalità di esposizione: temporizzato (modalità conto alla rovescia), può essere impostato arbitrariamente da 0,1 s a 9999 s, con una precisione di impostazione di 0,1 s.
Spessore massimo dell'adesivo: 500 μ m (adesivo SU8, condizioni di adesivo uniformi fornite dall'utente).
Potenza della lampada del mercurio: 1000W (DC, Osram tedesco, tipo di lunga durata).
Illuminazione irregolare: 2,5% (entro la gamma di 100mm), 5% (entro la gamma di 150mm).